测试d级碳化硅晶锭厂商金刚线多线切割设备测试

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苏州恒迈瑞公司生产供应测试d级碳化硅晶锭，导电型4英寸和6英寸，单个晶锭厚度15mm左右，应用于碳化硅切磨抛设备测试。高sic晶体切片成翘曲小、厚度均匀、切口损失小的薄片非常重要，否则会给后续的研磨和抛光带来很大的困难。一般采用金刚石线锯将碳化硅切成晶圆，总厚度变化（ttv）小于30 μm，翘曲度（warp）小于20 μm。研磨是规模化生产中加工sic衬底的第二步。碳化硅断裂韧性低，研磨难度大，对开裂非常敏感。研磨过程需要涉及到转速、压力、砂粒大小、磨料密度等诸多参数。因此，研磨过程需要严格选择操作参数以大限度地提高磨削率，同时控制表面完整性。
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